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晶(jing)(jing)(jing)圓幾何形貌(mao)及參數紅(hong)外干涉自(zi)動檢測(ce)機(ji)使用(yong)高(gao)精(jing)度高(gao)速紅(hong)外干涉點傳感器實(shi)(shi)現晶(jing)(jing)(jing)圓的(de)非接(jie)觸式(shi)測(ce)量，結合高(gao)精(jing)度運(yun)動模組(zu)及晶(jing)(jing)(jing)圓機(ji)械手可實(shi)(shi)現晶(jing)(jing)(jing)圓形貌(mao)的(de)亞(ya)微米(mi)級精(jing)度的(de)測(ce)量，該系統適用(yong)于晶(jing)(jing)(jing)圓多(duo)種(zhong)材(cai)質的(de)晶(jing)(jing)(jing)圓，包括藍寶(bao)石、GaAs、GaN、SiC 以(yi)及 Si 等；可以(yi)實(shi)(shi)現的(de)尺寸(cun)與結構(gou)測(ce)量內容包括： 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 測(ce)試)。

白(bai)光(guang)干涉儀(yi)廣泛(fan)應用(yong)于集(ji)成電(dian)路(lu)制(zhi)造、MEMS、航空航天、精密加工(gong)、表面工(gong)程技術(shu)、材料、太陽能電(dian)池技術(shu)等(deng)領域。

該儀器(qi)具(ju)備轉(zhuan)盤式(shi)針(zhen)孔共聚焦和白光(guang)干涉(she)兩(liang)種光(guang)學測(ce)量(liang)技術，用(yong)于(yu)各(ge)種材(cai)(cai)料(liao)/涂層/器(qi)件的(de)(de)高精度表(biao)(biao)面三維特(te)征 測(ce)量(liang)，能夠測(ce)量(liang)從(cong)粗(cu)糙的(de)(de)到光(guang)滑(hua)的(de)(de)，堅硬(ying)的(de)(de)到柔軟(ruan)的(de)(de)，黏性的(de)(de)表(biao)(biao)面以及(ji)各(ge)種場合下難于(yu)測(ce)量(liang)的(de)(de)表(biao)(biao)面，適用(yong)于(yu)金(jin)(jin)屬材(cai)(cai) 料(liao)、非金(jin)(jin)屬材(cai)(cai)料(liao)、復合材(cai)(cai)料(liao)、薄膜、涂層、器(qi)件等(deng)各(ge)種各(ge)樣材(cai)(cai)料(liao)的(de)(de)表(biao)(biao)面微觀結構(gou)特(te)征的(de)(de)3D成像，提(ti)供各(ge)種粗(cu)糙度， 表(biao)(biao)面結構(gou)的(de)(de)臺階高度，角度、體積、長度、深度等(deng)多(duo)種數據的(de)(de)測(ce)試分析、相(xiang)似(si)特(te)征的(de)(de)統(tong)計分析，輪廓提(ti)取(qu)等(deng)

晶(jing)圓(yuan)幾何(he)形(xing)貌及(ji)參數(shu)自(zi)動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專(zhuan)門測量晶(jing)圓(yuan)厚度(du)、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shu)的自(zi)動晶(jing)圓(yuan)形(xing)貌檢測及(ji)分選機。

專為(wei)測(ce)量旋(xuan)轉對稱樣(yang)品的表(biao)面形貌和透(tou)明薄膜(mo)的厚(hou)度而設計，如金剛石(shi)車削光學(xue)表(biao)面和模塑(su)或拋光的非球面透(tou)鏡(jing)

適用于光學、工業和(he)(he)(he)半導(dao)體市場的高速、中(zhong)精度、經(jing)濟(ji)實惠的表(biao)面輪廓(kuo)儀，納米(mi)分辨率彩色(se)共聚焦傳感器（可配(pei)制(zhi)點(dian)和(he)(he)(he)線(xian)傳感器），為在線(xian)過程測量和(he)(he)(he)控制(zhi)而設(she)計，結構緊湊，易于上下片和(he)(he)(he)操作，可配(pei)制(zhi)成(cheng)獨立系統（X/Y/Z） 和(he)(he)(he)附加升級至LAS （C/R/Z），多種(zhong)樣(yang)品處理(li)能力