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NanoX-2000/3000系列、3D光學白光干涉儀建立在移相(xiang)干涉(she)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(PSI)、白光(guang)(guang)垂直掃描干涉(she)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(VSI)和(he)單色光(guang)(guang)垂直掃描干涉(she)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(CSI)等(deng)技(ji)術的基礎上,以其(qi)納米級測(ce)(ce)(ce)量(liang)準(zhun)確度和(he)重(zhong)復性(穩定性)定量(liang)地反映出被測(ce)(ce)(ce)件的表面(mian)粗糙度、表面(mian)輪廓、臺階高度、關鍵部(bu)位(wei)的尺寸及其(qi)形(xing)貌特征等(deng)。廣泛應用于集成電路制(zhi)造、MEMS、航空航天、精密(mi)加工、表面(mian)工程技(ji)術、材料、太(tai)陽能電池(chi)技(ji)術等(deng)領域。
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