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晶圓(yuan)幾何(he)形貌及參(can)數紅(hong)外(wai)干涉自動檢測機使用(yong)(yong)高(gao)精度(du)高(gao)速紅(hong)外(wai)干涉點傳感器實(shi)(shi)現(xian)晶圓(yuan)的(de)非(fei)接觸式測量(liang)，結合高(gao)精度(du)運動模(mo)組及晶圓(yuan)機械手可實(shi)(shi)現(xian)晶圓(yuan)形貌的(de)亞(ya)微米級精度(du)的(de)測量(liang)，該系統適用(yong)(yong)于晶圓(yuan)多種材質的(de)晶圓(yuan)，包(bao)括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等(deng)；可以實(shi)(shi)現(xian)的(de)尺寸與結構測量(liang)內容(rong)包(bao)括： 包(bao)括 TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。

晶圓(yuan)幾何形貌及參(can)數自動(dong)檢測(ce)機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測(ce)量晶圓(yuan)厚度(du)、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參(can)數的自動(dong)晶圓(yuan)形貌檢測(ce)及分(fen)選機。

晶(jing)圓(yuan)(yuan)幾何(he)形(xing)貌測(ce)量(liang)及參數(shu)自動檢測(ce)機使(shi)用(yong)(yong)高精(jing)度(du)高速光(guang)譜共焦(jiao)雙探頭對(dui)射傳感器實現(xian)晶(jing)圓(yuan)(yuan)的(de)非接(jie)觸式測(ce)量(liang)，結合(he)高精(jing)度(du)運動模組及晶(jing)圓(yuan)(yuan)機械(xie)手(shou)可實現(xian)晶(jing)圓(yuan)(yuan)形(xing)貌的(de)亞微米(mi)級(ji)精(jing)度(du)的(de)測(ce)量(liang)，該系統適用(yong)(yong)于晶(jing)圓(yuan)(yuan)多種材質的(de)晶(jing)圓(yuan)(yuan)，包(bao)括藍寶石(shi)、GaAs、GaN、SiC 以(yi)及 Si 等；可以(yi)實現(xian)的(de)尺寸(cun)與結構(gou)測(ce)量(liang)內容(rong)包(bao)括：包(bao)括 TTV, Bow, Warp, Thickness， TIR, Sag, LTV (Fullmap 測(ce)試)。