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Filmetrics 3D光(guang)學輪廓儀(yi)(yi)具有3倍(bei)於于其(qi)成本儀(yi)(yi)器(qi)的次納米(mi)級垂直分(fen)辨(bian)率, Profilm3D同樣使用(yong)了現今高分(fen)辨(bian)率之光(guang)學輪廓儀(yi)(yi)的測量(liang)技(ji)術包含(han)垂直掃描(miao)干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。