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該儀器具備轉(zhuan)盤式針孔(kong)共(gong)聚焦和白光(guang)干涉兩種光(guang)學測量技(ji)術，用于各(ge)(ge)種材(cai)料/涂(tu)層/器件(jian)的(de)(de)(de)高(gao)精度(du)(du)(du)表(biao)(biao)(biao)面三維特(te)征(zheng)(zheng) 測量，能(neng)夠(gou)測量從(cong)粗糙的(de)(de)(de)到(dao)(dao)光(guang)滑的(de)(de)(de)，堅(jian)硬的(de)(de)(de)到(dao)(dao)柔軟的(de)(de)(de)，黏性(xing)的(de)(de)(de)表(biao)(biao)(biao)面以及各(ge)(ge)種場合(he)下(xia)難(nan)于測量的(de)(de)(de)表(biao)(biao)(biao)面，適(shi)用于金屬(shu)材(cai) 料、非(fei)金屬(shu)材(cai)料、復合(he)材(cai)料、薄膜、涂(tu)層、器件(jian)等各(ge)(ge)種各(ge)(ge)樣(yang)材(cai)料的(de)(de)(de)表(biao)(biao)(biao)面微觀(guan)結構(gou)特(te)征(zheng)(zheng)的(de)(de)(de)3D成(cheng)像，提(ti)供各(ge)(ge)種粗糙度(du)(du)(du)， 表(biao)(biao)(biao)面結構(gou)的(de)(de)(de)臺階高(gao)度(du)(du)(du)，角度(du)(du)(du)、體積、長度(du)(du)(du)、深度(du)(du)(du)等多(duo)種數據的(de)(de)(de)測試分(fen)析、相似特(te)征(zheng)(zheng)的(de)(de)(de)統計分(fen)析，輪廓(kuo)提(ti)取等