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硬化(hua)涂(tu)層膜厚(hou)儀是一款(kuan)快 速、準確測量薄膜(mo)表征應用(yong)的(de)模塊化解決方案(an),要(yao)求(qiu)的(de)光斑(ban)尺(chi)寸小(xiao)到幾個微米,如微圖案(an)表面(mian),粗(cu)糙表面(mian)及許多(duo)其他表面(mian)。它可以(yi)配備一臺計算機控(kong) 制的(de)XY工作臺,使(shi)其快 速、方便和(he)準確地(di)描繪樣(yang)品的(de)厚度和(he)光學(xue)特性圖。品牌屬于Thetametrisis。
Thetametrisis利用 FR-Mic,通過紫(zi)外(wai)/ 可(ke)(ke)見/ 近紅(hong)外(wai)可(ke)(ke)輕(qing)易對局部區域薄膜厚度(du),厚度(du)映射,光(guang)學常(chang)數(shu),反射率,折射率及(ji)消光(guang)系數(shu)進行測量。
【相關(guan)應用】
1.高校 & 研究所實(shi)驗(yan)室(shi)
2.半導體制(zhi)造
3.(氧化(hua)物/氮化(hua)物, 硅膜(mo), 光(guang)刻膠(jiao)及(ji)其(qi)他半(ban)導體薄(bo)膜(mo).)
4.MEMS 器件 (光(guang)刻膠, 硅膜等.)
5.LEDs, VCSELs
6.數據存(cun)儲
7.陽極處理
8.曲面基底的硬鍍(du)及軟鍍(du)
9.聚(ju)合物膜層, 粘合劑(ji)
10.生物醫學(聚對二甲苯, 生 物膜/氣泡壁厚度.)
11.還有許多…
【Thetametrisis膜厚儀特點】
1、實(shi)時(shi)光譜測量(liang)
2、薄膜厚度(du),光(guang)學特(te)性,非(fei)均勻性測量, 厚度(du)映射
3、使用集成的,USB連接高品質(zhi)彩色(se)攝像(xiang)(xiang)機進行成像(xiang)(xiang)
【Thetametrisis膜厚儀產(chan)品優(you)勢】
1、單擊即可分析 (無需初(chu)始(shi)預測)
2、動態測(ce)量
3、包(bao)含(han)光(guang)學參(can)數 (n & k, color)
4、可保存測量(liang)演示視頻錄像
5、超過 600 種不同(tong)材料(liao)o 多個離線分(fen)析(xi)配套裝置o 免費(fei)操作軟件升(sheng)級
【技(ji)術參數】
型號(hao) | UV/VIS | UV/NIR-EXT | UV/NIR-HR | DUV/NIR | VIS/NIR | DVIS/NIR | NIR | |
光譜波長范圍(nm) | 200–850 | 200–1020 | 200-1100 | 200–1700 | 370–1020 | 370–1700 | 900–1700 | |
光譜儀像素 | 3648 | 3648 | 3648 | 3648&512 | 3648 | 3648&512 | 512 | |
膜(mo)厚測量范圍(wei) | 5X-VIS/NIR | 15nm–60μm | 15nm–70μm | 15nm–90μm | 15nm–150μm | 15nm–90μm | 15nm–150μm | 100nm–150μm |
10X-VIS/NIR 10X-UV/NIR* | 4nm–50μm | 4nm–60μm | 4nm–80μm | 4nm–130μm | 15nm–80μm | 15nm–130μm | 100nm–130μm | |
15X-UV/NIR* | 4nm–40μm | 4nm–50μm | 4nm–50μm | 4nm–120μm | – | – | – | |
20X-VIS/NIR 20X-UV/NIR* | 4nm–25μm | 4nm–30μm | 4nm–30μm | 4nm–50μm | 15nm–30μm | 15nm–50μm | 100nm–50μm | |
40X-UV/NIR* | 4nm–4μm | 4nm–4μm | 4nm–5μm | 4nm–6μm | – | – | – | |
50X-VIS/NIR | – | – | – | – | 15nm–5μm | 15nm–5μm | 100nm–5μm | |
測量n&k蕞小厚度 | 50nm | 50nm | 50nm | 50nm | 100nm | 100nm | 500nm | |
光源(yuan) | 氘燈&鹵素(su)燈(internal) | 鹵素燈(internal) | ||||||
材(cai)料數據(ju)庫 | >600不同材(cai)料(liao) |
*測量面積(收集反射或透射信號的(de)面積)與顯(xian)微鏡(jing)物鏡(jing)和 FR-uProbe 的(de)孔徑大小有(you)關。
物鏡 | 光斑尺寸(μm) | ||
| 500μm孔徑 | 250μm孔徑 | 100μm孔徑(jing) |
5x | 100μm | 50μm | 20μm |
10x | 50μm | 25μm | 10μm |
20x | 25μm | 17μm | 5μm |
50x | 10μm | 5μm | 2μm |
【工(gong)作原理(li)】
*規格(ge)如(ru)有更改,恕(shu)不另(ling)行通知, 測量(liang)(liang)結果與校準的光譜橢偏儀(yi)和 XRD 相比(bi)較, 連續 15 天測量(liang)(liang)的標準方差(cha)平均值。樣品(pin):1um SiO2 on Si., 100 次厚度測量(liang)(liang)的標準方差(cha),樣品(pin):1um SiO2 on Si.
*超過 15 天的(de)標準偏差日平均值(zhi)樣品:1um SiO2 on Si。
以(yi)上資(zi)料來自Thetametrisis,如果有需要更加詳細(xi)的信(xin)息,請聯系我們(men)獲取。
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