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Product Category顯示(shi)器(qi)薄膜測量儀*的光(guang)學模塊可容納所(suo)有光(guang)學部件:分光(guang)計、復合光(guang)源(壽命10000小時)、高精度(du)反射探頭。因此,在準確性、重現性和長期穩定性方面保證(zheng)了優(you)異的性能。
Thetametrisis膜厚(hou)測(ce)量儀FR-pRo是一個模塊化(hua)和(he)可擴展(zhan)平(ping)臺(tai)的光學測(ce)量設備,用于(yu)表(biao)征厚(hou)度范圍為1nm-1mm 的涂層。
FR-Mic 多層膜厚度測試(shi)儀(yi)是一款(kuan)快速、準(zhun)確測量(liang)薄膜表征應用的模(mo)塊化解決方案,可以將光斑縮(suo)小(xiao)到(dao)幾個微米,進而分(fen)析(xi)微小(xiao)區域或者粗糙表面薄膜特征。
硬化涂(tu)層膜厚儀是一(yi)款快 速、準(zhun)確測量薄膜表(biao)征應用(yong)的模(mo)塊化解決方案(an),要求(qiu)的光(guang)斑尺寸小到(dao)幾個微米,如微圖案(an)表(biao)面,粗糙表(biao)面及許多其他表(biao)面。
系統可(ke)以為(wei)各種材質薄膜(mo)提供高精度的(de)厚(hou)度均(jun)勻(yun)性(xing)測量。使(shi)用創新的(de)融合光譜反射技(ji)術(shu)、近紅(hong)外干涉技(ji)術(shu)以及(ji)高亮度光源驅動的(de)光譜橢偏(pian)儀技(ji)術(shu)的(de)多傳(chuan)感(gan)器融合測量技(ji)術(shu),是國(guo)內可(ke)以實現同質膜(mo)厚(hou)全(quan)自動檢測的(de)系統。
QuickOCT-4D™ 將單(dan)點可(ke)見光(guang)(guang)光(guang)(guang)譜域光(guang)(guang)學(xue)(xue)相干斷(duan)層(ceng)(ceng)掃描 (SD-OCT) 傳感(gan)器(qi)與高(gao)(gao)速(su)納米編碼(ma)的(de) X/Y/Z 運動控制(zhi)平(ping)臺相結合,可(ke)以(yi)在(zai)高(gao)(gao)達 66 kHz 的(de)單(dan)次測量中捕獲透(tou)(tou)明薄膜樣品(pin)中每層(ceng)(ceng)的(de)平(ping)面。QuickOCT-4D™ 穿透(tou)(tou)深度(高(gao)(gao)達 100μm)和軸向(xiang)分辨率 (5nm) 針(zhen)對半導體、生命科學(xue)(xue)和制(zhi)藥行業的(de)多層(ceng)(ceng)透(tou)(tou)明薄膜、平(ping)面基板和功能層(ceng)(ceng)的(de)測量進行了優化。