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當前位置:首頁  >  產品中心  >  膜厚儀  >  硬化涂層膜厚儀  >  FR-pRoThetametrisis膜(mo)厚測量(liang)儀

Thetametrisis膜厚測量儀

簡要描(miao)述:Thetametrisis膜厚測(ce)量(liang)儀FR-pRo是一個模(mo)塊化和可擴(kuo)展平臺的(de)(de)光學測(ce)量(liang)設備(bei),用于(yu)表征(zheng)厚度(du)范圍為1nm-1mm 的(de)(de)涂層。

  • 產品型號:FR-pRo
  • 廠商性(xing)質:代理商
  • 產品(pin)資料(liao):
  • 更新(xin)時間:2023-12-14
  • 訪  問  量(liang): 3487

詳細介紹

Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo概述:

FR-pRo膜(mo)厚儀(yi): 按需搭(da)建的薄膜(mo)特性表征工具(ju)。

FR-pRo膜厚(hou)儀是一個模(mo)塊化和可擴展平臺的(de)光學(xue)測量設備,用于表征(zheng)厚(hou)度范圍(wei)為(wei)1nm-1mm 的(de)涂層。

FR-pRo膜厚(hou)儀是為客戶量(liang)身定制的,并(bing)廣泛應用(yong)于各(ge)種不同(tong)的應用(yong)。

比如:

吸收率/透射率/反射率測量,薄膜特性在(zai)溫度和環(huan)境控制下(xia)甚至在(zai)液(ye)體環(huan)境下(xia)的(de)表征等(deng)等(deng)…

Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo應用(yong):

1、大學&研(yan)究(jiu)實驗室

2、半導體行業

3、高分子聚(ju)合(he)物&阻抗(kang)表征

4、電(dian)介質特性表征

5、生(sheng)物醫學

6、硬(ying)涂層,陽極氧化(hua),金屬零件加工(gong)

7、光學(xue)鍍膜

8、非金屬(shu)薄膜等等…

FR-pRo膜厚儀可由用戶按需選擇裝(zhuang)配(pei)模塊,核(he) 心部件包括光源,光譜(pu)儀(適用于 200nm-2500nm 內的任(ren)何(he)光譜(pu)系統)和(he)控制單元(yuan),電子通訊模塊。

此外,還有各(ge)種(zhong)各(ge)種(zhong)配(pei)件,比如(ru):

1.用于測量吸收率/透(tou)射率和化學濃(nong)度(du)的薄膜/試管(guan)架;

2.用于(yu)表征涂層(ceng)特性的薄膜厚度(du)工具;

3.用于控制溫度或(huo)液體環境下測量的加熱裝(zhuang)置(zhi)或(huo)液體試(shi)劑盒;

4.漫反射(she)和全反射(she)積(ji)分球。

通過不同模塊組合,蕞終(zhong)的配置可以(yi)滿足(zu)任何終(zhong)端用戶的需求(qiu)。

Specificatins 規(gui)格(ge):

Model

UV/Vis

UV/NIR -EXT

UV/NIR-HR

D UV/NIR

VIS/NIR

D Vis/NIR

NIR

光譜范(fan)圍  (nm)

200 – 850

200 –1020

200-1100

200 – 1700

370 –1020

370 – 1700

900 – 1700

像素

3648

3648

3648

3648 & 512

3648

3648 & 512

512

厚度范(fan)圍(wei)

1nm – 80um

3nm – 80um

1nm – 120um

1nm – 250um

12nm – 100um

12nm – 250um

50nm – 250um

測量n*k 蕞小范圍(wei)

50nm

50nm

50nm

50nm

100nm

100nm

500nm

準確度*,**

1nm or 0.2%

1nm or 0.2%

1nm or 0.2%

1nm or 0.2%

1nm or 0.2%

2nm or 0.2%

3nm or 0.4%

精度(du)*,**

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.1nm

穩(wen)定性*,**

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.15nm

光源

氘燈(deng) & 鎢鹵(lu)素(su)燈(deng)(內置(zhi))

鎢(wu)鹵素(su)燈(內置)

光斑(ban) (直徑)



350um (更小光斑可根據要求選配)



材料(liao)數據庫(ku)




> 600 種不同材料




Accessries 配件:

電腦(nao)

19 英寸(cun)屏幕(mu)的筆記本電(dian)(dian)腦/觸摸(mo)屏電(dian)(dian)腦

聚焦(jiao)模塊

光學聚(ju)焦模塊(kuai)安裝在反射探頭上,光斑尺寸<100um

薄膜/比色皿容器

在標準器(qi)皿中(zhong)對薄膜或液體的(de)透射率測量

接觸式探頭

用于涂層厚度測量(liang)和(he)光(guang)學測量(liang)的配件,適用于彎曲表面和(he)曲面樣品

顯微鏡(jing)

用于高橫向分辨(bian)率(lv)(lv)的(de)反(fan)射(she)率(lv)(lv)及厚度顯微測量

Scanner  (motorized)

帶有圓晶卡盤的(de)Polar(R-Θ)或(huo) Cartesian(X-Y)自動化樣品臺可選,Polar(R-Θ)樣品臺支持反射(she)(she)率測量,Cartesian(X-Y)樣品臺支持反射(she)(she)率和透射(she)(she)率測量

積分(fen)球

用于表(biao)(biao)征涂層和表(biao)(biao)面的鏡面反射和漫反射

手動 X-Y 樣品臺

測量面積為 100mmx100mm 或(huo) 200mmx200mm 的x - y 手動(dong)平臺

加熱模塊

嵌入FR-tool 中,范圍由室(shi)溫~200oC,通(tong)過FR-Monitor 運行可(ke)編程溫控(kong)器(0.1 oC 精度).

液體模塊

聚四氟乙(yi)烯容器,用于通(tong)過石英光學(xue)窗口測量在(zai)液體(ti)中的樣品(pin)。樣品(pin)夾具,

用(yong)于將樣(yang)品插入可處理 30mmx30mm 樣(yang)品的(de)液(ye)體中(zhong)

流通(tong)池

液體中吸(xi)光率、微(wei)量熒光測量

工作原理:

白光(guang)反射(she)光(guang)譜(WLRS)是(shi)測(ce)量垂直于樣(yang)品(pin)表(biao)面(mian)的某一波段的入射(she)光(guang),在經多層(ceng)或單層(ceng)薄膜反射(she)后,經界面(mian)干涉產生(sheng)的反射(she)光(guang)譜可確定單層(ceng)或多層(ceng)薄膜(透明(ming),半透明(ming)或全反射(she)襯底)的厚度及 N*K 光(guang)學(xue)常數。

* 規格如(ru)有(you)更(geng)改,恕不另行通知; ** 厚(hou)度測(ce)量(liang)范圍即代 表(biao)光譜范圍,是基(ji)于在(zai)高反射襯底折射率為 1.5 的單層(ceng)膜測(ce)量(liang)厚(hou)度。





 

 

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