產品分類
Product Category詳細介紹
Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo概述:
FR-pRo膜(mo)厚儀(yi): 按需搭(da)建的薄膜(mo)特性表征工具(ju)。
FR-pRo膜厚(hou)儀是一個模(mo)塊化和可擴展平臺的(de)光學(xue)測量設備,用于表征(zheng)厚(hou)度范圍(wei)為(wei)1nm-1mm 的(de)涂層。
FR-pRo膜厚(hou)儀是為客戶量(liang)身定制的,并(bing)廣泛應用(yong)于各(ge)種不同(tong)的應用(yong)。
比如:
吸收率/透射率/反射率測量,薄膜特性在(zai)溫度和環(huan)境控制下(xia)甚至在(zai)液(ye)體環(huan)境下(xia)的(de)表征等(deng)等(deng)…
Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo應用(yong):
1、大學&研(yan)究(jiu)實驗室
2、半導體行業
3、高分子聚(ju)合(he)物&阻抗(kang)表征
4、電(dian)介質特性表征
5、生(sheng)物醫學
6、硬(ying)涂層,陽極氧化(hua),金屬零件加工(gong)
7、光學(xue)鍍膜
8、非金屬(shu)薄膜等等…
FR-pRo膜厚儀可由用戶按需選擇裝(zhuang)配(pei)模塊,核(he) 心部件包括光源,光譜(pu)儀(適用于 200nm-2500nm 內的任(ren)何(he)光譜(pu)系統)和(he)控制單元(yuan),電子通訊模塊。
此外,還有各(ge)種(zhong)各(ge)種(zhong)配(pei)件,比如(ru):
1.用于測量吸收率/透(tou)射率和化學濃(nong)度(du)的薄膜/試管(guan)架;
2.用于(yu)表征涂層(ceng)特性的薄膜厚度(du)工具;
3.用于控制溫度或(huo)液體環境下測量的加熱裝(zhuang)置(zhi)或(huo)液體試(shi)劑盒;
4.漫反射(she)和全反射(she)積(ji)分球。
通過不同模塊組合,蕞終(zhong)的配置可以(yi)滿足(zu)任何終(zhong)端用戶的需求(qiu)。
Specificatins 規(gui)格(ge):
Model | UV/Vis | UV/NIR -EXT | UV/NIR-HR | D UV/NIR | VIS/NIR | D Vis/NIR | NIR |
光譜范(fan)圍 (nm) | 200 – 850 | 200 –1020 | 200-1100 | 200 – 1700 | 370 –1020 | 370 – 1700 | 900 – 1700 |
像素 | 3648 | 3648 | 3648 | 3648 & 512 | 3648 | 3648 & 512 | 512 |
厚度范(fan)圍(wei) | 1nm – 80um | 3nm – 80um | 1nm – 120um | 1nm – 250um | 12nm – 100um | 12nm – 250um | 50nm – 250um |
測量n*k 蕞小范圍(wei) | 50nm | 50nm | 50nm | 50nm | 100nm | 100nm | 500nm |
準確度*,** | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 1nm or 0.2% | 2nm or 0.2% | 3nm or 0.4% |
精度(du)*,** | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.1nm |
穩(wen)定性*,** | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.15nm |
光源 | 氘燈(deng) & 鎢鹵(lu)素(su)燈(deng)(內置(zhi)) | 鎢(wu)鹵素(su)燈(內置) | |||||
光斑(ban) (直徑) | 350um (更小光斑可根據要求選配) | ||||||
材料(liao)數據庫(ku) | > 600 種不同材料 |
Accessries 配件:
電腦(nao) | 19 英寸(cun)屏幕(mu)的筆記本電(dian)(dian)腦/觸摸(mo)屏電(dian)(dian)腦 |
聚焦(jiao)模塊 | 光學聚(ju)焦模塊(kuai)安裝在反射探頭上,光斑尺寸<100um |
薄膜/比色皿容器 | 在標準器(qi)皿中(zhong)對薄膜或液體的(de)透射率測量 |
接觸式探頭 | 用于涂層厚度測量(liang)和(he)光(guang)學測量(liang)的配件,適用于彎曲表面和(he)曲面樣品 |
顯微鏡(jing) | 用于高橫向分辨(bian)率(lv)(lv)的(de)反(fan)射(she)率(lv)(lv)及厚度顯微測量 |
Scanner (motorized) | 帶有圓晶卡盤的(de)Polar(R-Θ)或(huo) Cartesian(X-Y)自動化樣品臺可選,Polar(R-Θ)樣品臺支持反射(she)(she)率測量,Cartesian(X-Y)樣品臺支持反射(she)(she)率和透射(she)(she)率測量 |
積分(fen)球 | 用于表(biao)(biao)征涂層和表(biao)(biao)面的鏡面反射和漫反射 |
手動 X-Y 樣品臺 | 測量面積為 100mmx100mm 或(huo) 200mmx200mm 的x - y 手動(dong)平臺 |
加熱模塊 | 嵌入FR-tool 中,范圍由室(shi)溫~200oC,通(tong)過FR-Monitor 運行可(ke)編程溫控(kong)器(0.1 oC 精度). |
液體模塊 | 聚四氟乙(yi)烯容器,用于通(tong)過石英光學(xue)窗口測量在(zai)液體(ti)中的樣品(pin)。樣品(pin)夾具, 用(yong)于將樣(yang)品插入可處理 30mmx30mm 樣(yang)品的(de)液(ye)體中(zhong) |
流通(tong)池 | 液體中吸(xi)光率、微(wei)量熒光測量 |
工作原理:
白光(guang)反射(she)光(guang)譜(WLRS)是(shi)測(ce)量垂直于樣(yang)品(pin)表(biao)面(mian)的某一波段的入射(she)光(guang),在經多層(ceng)或單層(ceng)薄膜反射(she)后,經界面(mian)干涉產生(sheng)的反射(she)光(guang)譜可確定單層(ceng)或多層(ceng)薄膜(透明(ming),半透明(ming)或全反射(she)襯底)的厚度及 N*K 光(guang)學(xue)常數。
* 規格如(ru)有(you)更(geng)改,恕不另行通知; ** 厚(hou)度測(ce)量(liang)范圍即代 表(biao)光譜范圍,是基(ji)于在(zai)高反射襯底折射率為 1.5 的單層(ceng)膜測(ce)量(liang)厚(hou)度。
產品咨詢