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美國(guo)FSM 薄膜(mo)應力(li)(li)及基底翹曲測試(shi)設備(bei)：在襯(chen)底鍍上不(bu)同(tong)的(de)(de)薄膜(mo)后, 因為兩(liang)者材質不(bu)一(yi)樣(yang)(yang)，以(yi)(yi)及不(bu)同(tong)的(de)(de)材料不(bu)同(tong)溫度下(xia)特性(xing)不(bu)一(yi)樣(yang)(yang), 所以(yi)(yi)會(hui)引(yin)起(qi)應力(li)(li)。 如應力(li)(li)太大會(hui)引(yin)起(qi)薄膜(mo)脫落, 引(yin)致組件失效或(huo)可靠性(xing)不(bu)佳的(de)(de)問題(ti)。 薄膜(mo)應力(li)(li)激光(guang)測量儀利用激光(guang)測量樣(yang)(yang)本的(de)(de)形貌,透過比較(jiao)鍍膜(mo)前后襯(chen)底曲率半徑的(de)(de)變化, 以(yi)(yi)Stoney’s Equation計算(suan)出(chu)應力(li)(li), 是品檢及改進工藝的(de)(de)有(you)/效手(shou)段。

美國FSM 高(gao)溫薄膜應(ying)力及基底翹曲測試設備：美國FSM成立于1988年(nian)，總部(bu)位于圣何塞，多年(nian)來為半導體行業等高(gao)新行業提供各(ge)式精密的測量設備。