美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備

??在襯底鍍上不(bu)同(tong)的(de)薄(bo)(bo)膜后(hou), 因為兩者材(cai)質不(bu)一(yi)樣，以及不(bu)同(tong)的(de)材(cai)料(liao)不(bu)同(tong)溫度下特性不(bu)一(yi)樣, 所以會(hui)(hui)引(yin)起應(ying)力。 如(ru)應(ying)力太大會(hui)(hui)引(yin)起薄(bo)(bo)膜脫落, 引(yin)致組件失效或可靠性不(bu)佳的(de)問(wen)題(ti)。 薄(bo)(bo)膜應(ying)力激光(guang)測(ce)量(liang)儀利用(yong)激光(guang)測(ce)量(liang)樣本的(de)形貌,透過比較鍍膜前后(hou)襯底曲率半徑的(de)變(bian)化(hua), 以Stoney’s Equation計算出應(ying)力, 是品檢及改進(jin)工藝的(de)有/效手(shou)段。

??1) 快速、非接(jie)觸(chu)式(shi)測量

??2) 128型號適用于3至8寸晶圓

??128L型號適用于(yu)12寸晶(jing)圓

??128G 型號適用于470 X 370mm樣品(pin)，

??另(ling)可(ke)按(an)要(yao)求訂做(zuo)不(bu)同尺(chi)寸的樣品臺

??3) 雙激光自(zi)動轉換技術

??如某一波(bo)長激光在(zai)樣本反射度不足(zu)，系統(tong)會(hui)自(zi)動使用

??另一波(bo)長激光進行掃(sao)瞄，滿足不同材料(liao)的應用

??4) 全自動平臺，可(ke)以(yi)進行2D及3D掃瞄(可(ke)選)

??5) 可加(jia)入更多功(gong)能滿足研(yan)發的需求

??電介質厚度測量

??6) 500 及 900°C高溫型(xing)號可選(xuan)

??7) 樣品(pin)上(shang)有(you)圖案(an)亦適(shi)用

美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備  FSM128規格

??1) 測量(liang)方式: 非接觸式(激光掃瞄)

??2) 樣本尺寸:

??FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

??FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

??FSM 128G: /大550×650 mm

??3) 掃瞄方式: 高精度單次(ci)掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

??4) 激光強度(du): 根(gen)據樣本反射度(du)自(zi)動(dong)調節

??5) 激光(guang)波長: 650nm及780nm自動切換(其它波長可選)

??6) 薄膜應力范(fan)圍: 1 MPa — 4 GPa

??(硅片(pian)翹曲或彎(wan)曲度變(bian)化大于1 micron)

??7) 重復性: 1% (1 sigma)*

??8) 準確度(du): ≤ 2.5%

??使用20米半徑球面鏡

??9) 設(she)備尺(chi)寸及重量:

??FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

??FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

??FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

??電源 : 110V/220V, 20A