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美國FSM 薄(bo)膜應(ying)力(li)及(ji)基底(di)翹(qiao)曲(qu)測(ce)(ce)試設備：在襯(chen)底(di)鍍(du)上不同(tong)(tong)的(de)薄(bo)膜后(hou), 因為兩者(zhe)材質不一(yi)樣(yang)，以(yi)及(ji)不同(tong)(tong)的(de)材料不同(tong)(tong)溫度下特性不一(yi)樣(yang), 所以(yi)會引(yin)起應(ying)力(li)。 如應(ying)力(li)太大會引(yin)起薄(bo)膜脫落, 引(yin)致組件失(shi)效或可靠(kao)性不佳的(de)問題(ti)。 薄(bo)膜應(ying)力(li)激光(guang)測(ce)(ce)量(liang)儀利(li)用激光(guang)測(ce)(ce)量(liang)樣(yang)本的(de)形(xing)貌,透(tou)過比較鍍(du)膜前(qian)后(hou)襯(chen)底(di)曲(qu)率半徑的(de)變化, 以(yi)Stoney’s Equation計算出應(ying)力(li), 是(shi)品檢及(ji)改進工藝的(de)有(you)/效手段。

美(mei)國FSM 高溫(wen)薄膜應力及基底(di)翹曲測試設備：美(mei)國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來(lai)為半導體行(xing)業等高新(xin)行(xing)業提供各式(shi)精密(mi)的測量設備。

StrainScope Flex可(ke)(ke)調式(shi)實時應力儀 產品(pin)(pin)具有測量速度快、精度高(gao)(gao)、重(zhong)復性(xing)好(hao)等特(te)點，對大尺寸樣品(pin)(pin)可(ke)(ke)拼接測量。其應力測量設備用戶包括肖(xiao)特(te)、卡爾-蔡(cai)司(si)、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著(zhu)名公司(si)。應用領域包括光學材料、醫用包裝材料、高(gao)(gao)分子類密封材料等。

實時型StrainScope S3/S4 應力儀(yi) 產品(pin)具有測量速(su)度快、精度高、重復性好等特(te)點，對大尺寸樣品(pin)可拼接測量。其應力測量設備用(yong)(yong)戶(hu)包括肖特(te)、卡(ka)爾-蔡司(si)、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著(zhu)名公司(si)。應用(yong)(yong)領(ling)域包括光(guang)學材料(liao)、醫用(yong)(yong)包裝材料(liao)、高分子類密封材料(liao)等。

拼接型(xing)StrainMatic stepper應(ying)力儀 產(chan)品具有(you)測量速(su)度快、精度高、重復性好(hao)等特點，對大尺寸樣品可(ke)拼接測量。其應(ying)力測量設備用(yong)戶廣，用(yong)戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公(gong)司。應(ying)用(yong)領(ling)域包括光學(xue)材(cai)料、醫用(yong)包裝材(cai)料、高分子類密封(feng)材(cai)料等。

德國ilis公(gong)司成立于1998年，專業研發制(zhi)造(zao)高(gao)精(jing)度應力(li)雙折射分(fen)析軟件與測(ce)(ce)量(liang)設備，薄(bo)膜應力(li)測(ce)(ce)試(shi)儀采(cai)用(yong)成像式光彈原(yuan)理，直(zhi)接測(ce)(ce)量(liang)光延遲，可以快速(su)給出高(gao)分(fen)辨率的高(gao)精(jing)度測(ce)(ce)量(liang)結果。