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EVG805直接鍵(jian)合(he)(he)設(she)備是一種(zhong)半自動系統，用于剝離(li)臨(lin)時鍵(jian)合(he)(he)和加(jia)工的晶(jing)圓堆疊(die)，包(bao)括器件晶(jing)圓，載(zai)體晶(jing)圓和中(zhong)間臨(lin)時鍵(jian)合(he)(he)膠。該(gai)工具支持(chi)熱(re)剝離(li)或機械剝離(li)。薄晶(jing)圓可以(yi)(yi)卸(xie)載(zai)在單個(ge)基板(ban)載(zai)體上，以(yi)(yi)便(bian)在工具之間安(an)全可靠地轉移(yi)。