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FilmSense三維形貌儀可通過橢偏參數(shu)、 透射/反射率(lv)等參數(shu)的(de)測(ce)量，快速實現(xian)光(guang)學參數(shu)薄(bo)膜和納米結構(gou)的(de)表征分析(xi),適用于薄(bo)膜材料(liao)的(de)快速測(ce)量表征.