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FilmSense三維形(xing)貌儀(yi)可通過橢偏參(can)數(shu)、 透射(she)/反射(she)率等參(can)數(shu)的測量(liang)，快(kuai)速實(shi)現(xian)光(guang)學參(can)數(shu)薄(bo)膜和納米結構的表(biao)征分析(xi),適用于薄(bo)膜材料的快(kuai)速測量(liang)表(biao)征.