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納米壓(ya)(ya)印支持多(duo)種標準(zhun)(zhun)光刻工藝，例如真(zhen)空，軟，硬和接近曝光模式，并可選擇背面對(dui)準(zhun)(zhun)。此外，該系統還為多(duo)功(gong)能配置提供了附加功(gong)能，包括鍵對(dui)準(zhun)(zhun)和納米壓(ya)(ya)印光刻（NIL）。

EVG620 NT以(yi)其多(duo)功能性和可(ke)靠性而(er)著稱，在蕞小(xiao)的(de)占位面(mian)積上結(jie)合(he)了(le)先進的(de)對準功能和蕞優化的(de)總體(ti)擁(yong)有成本(ben)，提供了(le)優于其他(ta)品(pin)牌(pai)的(de)掩(yan)模對準技術。它(ta)是(shi)光學雙面(mian)光刻的(de)理(li)(li)想工(gong)具(ju)，可(ke)提供半(ban)自動(dong)或(huo)自動(dong)配置以(yi)及可(ke)選的(de)全覆蓋Gen 2解(jie)決方(fang)案(an)(an)，以(yi)滿足大批量生產要求和制(zhi)(zhi)造(zao)標準。擁(yong)有操作員(yuan)友好型軟件，蕞短的(de)掩(yan)模和工(gong)具(ju)更換時間以(yi)及高(gao)效的(de)全球(qiu)服(fu)務和支持，使(shi)它(ta)成為任何(he)制(zhi)(zhi)造(zao)環境的(de)理(li)(li)想解(jie)決方(fang)案(an)(an)。

EVG6200 NT以其自動化靈(ling)活性和(he)可靠性而著稱(cheng)，可在最(zui)小的(de)(de)(de)占位面積上提供(gong)了優(you)于其他品(pin)牌的(de)(de)(de)掩(yan)模(mo)對準(zhun)技術，并(bing)具(ju)有(you)最(zui)高的(de)(de)(de)產能(neng)，先進的(de)(de)(de)對準(zhun)功(gong)(gong)能(neng)和(he)優(you)化的(de)(de)(de)總擁(yong)有(you)成本(ben)。操(cao)作員友好型軟件，最(zui)短的(de)(de)(de)掩(yan)模(mo)和(he)工具(ju)更(geng)換時(shi)間(jian)以及高效的(de)(de)(de)全球服務和(he)支持使它成為任何制造環境的(de)(de)(de)理想(xiang)解決(jue)方案。EVG6200 NT或安裝的(de)(de)(de)EVG6200 NT Gen2掩(yan)模(mo)對準(zhun)系(xi)統有(you)半自動或自動配置，并(bing)配有(you)集成的(de)(de)(de)振動隔離功(gong)(gong)能(neng)。

光(guang)刻機(ji)Track系(xi)統通過集成(cheng)(cheng)的生產系(xi)統和(he)(he)結合掩模對準和(he)(he)曝光(guang)以及(ji)集成(cheng)(cheng)的預處(chu)(chu)理(li)和(he)(he)后處(chu)(chu)理(li)的高度自(zi)動化(hua)功能，完善了EVG光(guang)刻機(ji)產品系(xi)列。HERCULES光(guang)刻機(ji)Track系(xi)統基于模塊(kuai)(kuai)化(hua)平(ping)臺，將(jiang)(jiang)(jiang)EVG已建立(li)的光(guang)學掩模對準技術與集成(cheng)(cheng)的清潔，光(guang)刻膠(jiao)涂(tu)層，烘烤和(he)(he)光(guang)刻膠(jiao)顯影模塊(kuai)(kuai)相結合。將(jiang)(jiang)(jiang)HERCULES平(ping)臺變成(cheng)(cheng)了“一站式服務(wu)”，在這里將(jiang)(jiang)(jiang)經(jing)過預處(chu)(chu)理(li)的晶圓(yuan)裝載到(dao)工具中，然后將(jiang)(jiang)(jiang)結構化(hua)的經(jing)過處(chu)(chu)理(li)的晶圓(yuan)退回。

多功(gong)能(neng)EVG7300 UV納米(mi)壓印光(guang)刻系統可以支(zhi)持多種相關的(de)UV工(gong)藝:SmartNIL，晶(jing)圓級光(guang)學(WLO)和堆疊-三種功(gong)能(neng)合并在一個靈活的(de)工(gong)具中

長達 150 毫米(mi)的自動化(hua)全(quan)場紫外納(na)米(mi)壓印解(jie)決(jue)方案，采用 EVG 專(zhuan)有的 SmartNIL 技(ji)術