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非接觸式電阻測(ce)試(shi)可保證(zheng)被(bei)測(ce)試(shi)材料的(de)實際薄膜電阻值(zhi)偏差不超過 3%。以下圖(tu)表所展示的(de)是(shi)根(gen)據 10 NIST、VLSI 和 MSA 標(biao)準測(ce)試(shi)的(de) Delcom 計量(liang)器。

薄膜電阻測試用戶可以直接(jie)在材料(liao)(liao)上繪(hui)制網(wang)格(ge)(ge)(ge)圖形，或者將材料(liao)(liao)放(fang)入一個塑料(liao)(liao)信封(feng)并(bing)在信封(feng)上繪(hui)制網(wang)格(ge)(ge)(ge)圖形。然后用戶根據這些網(wang)格(ge)(ge)(ge)線遞增材料(liao)(liao)。