相關文章
Related ArticlesOptoScan600是一款光學粗(cu)糙度測試(shi)儀,主要用于檢(jian)測晶(jing)圓(yuan)缺陷、粗(cu)糙度、波紋度、翹(qiao)曲度等數據。
光學粗(cu)糙度(du)(du)(du)(du)測試儀(yi)WaferMaster WM 300 不像傳統輪廓(kuo)(kuo)儀(yi)需要長時(shi)間的(de)(de)垂(chui)直(zhi)高度(du)(du)(du)(du)掃描加上水平拼(pin)接(jie)以(yi)得到3D的(de)(de)表(biao)(biao)面(mian)輪廓(kuo)(kuo)進(jin)行(xing)耗時(shi)粗(cu)糙度(du)(du)(du)(du)計算(suan)。利(li)用(yong)角(jiao)分辨光散射技術測量(liang)晶圓表(biao)(biao)面(mian)梯(ti)度(du)(du)(du)(du)角(jiao)計算(suan)的(de)(de)粗(cu)糙度(du)(du)(du)(du),以(yi)每(mei)秒2000次高速掃描全(quan)晶圓表(biao)(biao)面(mian)上面(mian)粗(cu)糙度(du)(du)(du)(du),為目前業界最快全(quan)晶圓粗(cu)糙度(du)(du)(du)(du)測量(liang)系統,可以(yi)依(yi)各種(zhong)樣品(pin)形狀(zhuang)尺寸客(ke)制化量(liang)測探(tan)頭(tou)以(yi)及平臺解決方案。WM 300 可直(zhi)接(jie)計算(suan)得到以(yi)微米為單位的(de)(de)粗(cu)糙度(du)(du)(du)(du)值,波紋(wen)度(du)(du)(du)(du)和輪廓(kuo)(kuo)值。