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LODAS™ – CI8是列真株(zhu)式會社推出的一款化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置(zhi)。

UltraINSP晶(jing)圓表面(mian)缺陷(xian)檢(jian)測(ce)系(xi)統是(shi)表面(mian)缺陷(xian)檢(jian)測(ce)的蕞完善(shan)的國產(chan)化替代產(chan)品，系(xi)統包(bao)括四個模塊可以(yi)檢(jian)測(ce)所有晶(jing)圓表面(mian)并同步采集數據：晶(jing)圓正面(mian)、背面(mian)、邊(bian)緣缺陷(xian)檢(jian)測(ce)模塊；輪廓、量測(ce)和檢(jian)查模塊；

iFocus是一款用于晶圓外觀缺陷(xian)檢(jian)測設備，利用STI的2D/3D視(shi)覺檢(jian)測系統，采(cai)用雙(shuang)2D Camera同時采(cai)集亮區和暗區照片(pian)分析(xi)特征(zheng)缺陷(xian)；True 3D技(ji)術，可以精(jing)確(que)量測Bumping高(gao)度，Bumping共面性等特征(zheng)。可適用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產品外觀檢(jian)測。

LODAS™ – LI系列是列真(zhen)株式會(hui)社推出的一款FPD Photomask缺(que)陷檢查裝置。

LODAS™ – BI12是列真株(zhu)式會社推出的(de)一(yi)款(kuan)GlassWafe缺陷檢查裝(zhuang)置。

LODAS™ – BI8是列(lie)真(zhen)株式會社推出的一款(kuan)Photomask Blanks缺陷檢查(cha)裝(zhuang)置。